Откачной агрегат повышенной производительности 380 л/с. Применяется в полупроводниковом и оптическом производстве.
| Базовый насос | Турбомолекулярный, 380 л/с |
| Форвакуумный насос | Пластинчато-роторный, 30 м³/ч |
| Предельный вакуум | < 1×10⁻⁷ Па |
| Управление | Кнопочная панель / Modbus |
| Масса | 125 кг |
中文版
English
