Турбомолекулярный насос серии JTFB-Y со встроенным контроллером и форвакуумным насосом в одном корпусе. Производительность 2000 л/с, предельный вакуум лучше 10⁻⁷ Па. Идеален для полупроводникового, оптического и аналитического производства.
| Производительность по N₂ | 2000 л/с |
| Предельное остаточное давление | < 1×10⁻⁷ Па |
| Частота вращения ротора | 36 000 об/мин |
| Время выхода на рабочий режим | ≤ 6 мин |
| Охлаждение | Водяное |
| Впускной фланец | ISO-K / CF (по выбору) |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Масса | 54 кг |
| Уровень вибрации | < 0,1 мкм |
| Контроллер | Встроенный, RS-485 / Modbus |
中文版
English
