Интегрированный турбомолекулярный насос производительностью 700 л/с. Компактное исполнение «plug-and-pump» для минимальных габаритов при высокой производительности.
| Производительность по N₂ | 700 л/с |
| Предельное остаточное давление | < 1×10⁻⁷ Па |
| Частота вращения ротора | 36 000 об/мин |
| Время выхода на рабочий режим | ≤ 4 мин |
| Охлаждение | Водяное / воздушное |
| Впускной фланец | ISO-K / CF |
| Масса | 28 кг |
| Контроллер | Встроенный |
中文版
English
