Турбомолекулярный насос с магнитолевитационной подвеской ротора. Производительность 80 л/с. Бесконтактная подвеска обеспечивает низкие вибрации и длительный ресурс.
| Производительность по N₂ | 80 л/с |
| Предельное остаточное давление | < 1×10⁻⁸ Па |
| Частота вращения ротора | 60 000 об/мин |
| Подвеска ротора | Магнитолевитационная, активная, 5-осевая |
| Охлаждение | Воздушное |
| Впускной фланец | ISO-K / CF |
| Масса | 12 кг |
| Уровень вибрации | < 0,05 мкм |
中文版
English
