Вакуумное оборудование «Пекин Шицзи Цзютай» широко используется в полупроводниковом производстве: для плазменного травления, ионной имплантации, нанесения тонких плёнок и других технологических процессов, требующих сверхвысокого вакуума.
Наши турбомолекулярные насосы обеспечивают стабильные параметры откачки и низкое остаточное давление, что критически важно для получения воспроизводимых результатов при производстве интегральных схем.